Desenvolvimento de um micro-transdutor acústico capacitivo.
Mendonça, Lucas Gonçalves Dias

Neste trabalho é proposto um dispositivo MEMS do tipo micro-transdutor acústico capacitivo, CMUT (sigla em inglês - Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer). Em vez de usar piezoeletricidade, o...

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