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Dissertação de Mestrado
DOI
10.11606/D.43.2018.tde-13062018-195831
Documento
Autor
Nome completo
Renato Vasconcelos Coura Soares
E-mail
Unidade da USP
Área do Conhecimento
Data de Defesa
Imprenta
São Paulo, 2018
Orientador
Banca examinadora
Chubaci, Jose Fernando Diniz (Presidente)
Chinaglia, Eliane de Fátima
Justo Filho, João Francisco
Título em português
Estudo das propriedades óticas e elétricas de filmes finos de óxido de zinco
Palavras-chave em português
óxido de zinco; magnetron sputtering; filmes finos; transparência; condutividade.
Resumo em português
O desenvolvimento de filmes finos e nanotecnologia tem proporcionado imensos avanços nas áreas científicas e tecnológicas. A nanotecnologia, em sua essência, não pode ser considerada como uma simples redução das dimensões das propriedades dos materiais. Na verdade surgem novas propriedades que não podem ser caracterizadas por técnicas convencionais. Assim surgiram novos sistemas que são empregados na identificação destas novas propriedades e características. Muitas vezes os avanços tecnológicos que podem ser observados no dia a dia são frutos de pesquisas que foram recentemente realizadas. A demanda por óxidos condutores transparentes (TCO) para aplicações em optoeletrônicos, tais como painéis de toque, monitores de tela plana, diodos orgânicos emissores de luz (OLEDs) e outros dispositivos móveis, tem aumentado continuamente e se enquadram neste desenvolvimento. O objetivo desse trabalho é analisar filmes finos de óxido de zinco produzidos por magnetron sputtering. Procuramos quais filmes de óxido de zinco possuem as melhores características de um TCO. Após esta análise temos condições de determinar quais foram os melhores parâmetros de deposição para a construção do filme de óxido de zinco. Os filmes finos foram analisados por: Rutherford backscatering spectroscopy (RBS), CxV, IxV, Efeito Hall, Interferômetria e Espectofotômetria UV-Vis-NIR.
Título em inglês
STUDY OF THE OPTICAL AND ELECTRIC PROPERTIES OF ZINC OXIDE THIN FILMS
Palavras-chave em inglês
can not be considered as a simple reduction of dimensions and scaling of material properties. In fact
CxV
flat panel monitors
Hall Effect, Interferometry and UV-Vis-NIR Spectrophotometry.
has continuously increased and fits into this development. The objective of this work is to analyze thin films of zinc oxide
in its essence
induced by magnetron sputtering. We look for which zinc oxide film have the best characteristics for a TCO. From these results it is possible to concl
IxV
new properties that arise can not be characterized by conventional techniques. Thus new systems have emerged which are employed in the identification
organic light emitting diodes (OLEDs) and other mobile devices
such as touch panels
The development of thin films and nanotechnology has provided immense advances in scientific and technological areas. Nanotechnology
Resumo em inglês
zinc oxide; magnetron sputtering; thin films; transparency; conductivity.
 
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Data de Publicação
2018-06-25
 
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