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Dissertação de Mestrado
DOI
10.11606/D.3.2007.tde-08012008-171156
Documento
Autor
Nome completo
Michel Bernardo Fernandes da Silva
E-mail
Unidade da USP
Área do Conhecimento
Data de Defesa
Imprenta
São Paulo, 2007
Orientador
Banca examinadora
Barbin, Silvio Ernesto (Presidente)
Kretly, Luiz Carlos
Van Noije, Wilhelmus Adrianus Maria
Título em português
Modelagem de chaves MEMS para aplicações em RF.
Palavras-chave em português
Circuitos de microondas
Engenharia elétrica
Engenharia eletrônica
Sistemas microeletromecânicos
Tecnologia de microondas
Resumo em português
Nesta dissertação, os principais conceitos de MEMS, suas aplicações, processos de fabricação, componentes e sistemas são abordados. O objetivo desta dissertação é o estudo detalhado de chaves MEMS para aplicações em RF, que apresentam bom comportamento em altas freqüências e com potencial de melhoria em sua banda de operação. Em particular, aprofundou-se o estudo para o caso de uma chave MEMS de membrana capacitiva paralela sobre um guia de onda coplanar ou CPW - Coplanar Waveguide. O objetivo foi o de ampliar sua banda de operação, mantendo-se outras especificações inalteradas. Partindo-se de uma chave com banda de operação nula para critérios de perda de retorno e isolação mínimas iguais a 20 dB, com alteração na geometria da chave foi possível obter-se uma banda de 28 GHz e posteriormente ampliá-la para 31 GHz, praticamente sem alteração nas demais características elétricas.
Título em inglês
Modeling of MEMS switches for RF applications.
Palavras-chave em inglês
Bandwidth enhancement
Microelectromechanical systems
RF MEMS switches
Resumo em inglês
In this thesis, the main concepts of MEMS, their application, fabrication processes, components and systems are addressed. The objective of the thesis is a detailed study of MEMS switches for RF applications, that present good performance at high frequencies and with a potential for bandwidth improvement. More specifically, the study was deeply conducted for shunt capacitive membrane MEMS switches over CPW - Coplanar Waveguide. In this case, the objective was to enlarge the operation bandwidth, keeping the other specifications unchanged. Starting with a switch with null operational bandwidth for criteria of minimum return loss and isolation of 20 dB, after a modification in the switch geometry, it was possible to obtain an operational bandwidth of 28 GHz and then to enlarge it to 31 GHz, keeping almost unchanged the other electric characteristics.
 
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DISS_MICH_04nov_2230.pdf (544.17 Kbytes)
Data de Publicação
2008-02-29
 
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