Neste trabalho investigamos o processo de estruturação em filmes de Diamond-like Carbon (DLC) através do uso de pulsos laser de femtossegundos (100 fs, 800 nm, 1 KHz e 5 MHz). Determinamos a fluência de limiar para estruturação do DLC como sendo da ordem de 1 J/cm² para pulso único e de aproximadamente 0,1 J/cm² quando a amostra é submetida a um grande número de pulsos (> 10⁴ pulsos). Por meio da espectroscopia Raman determinamos as intensidades de pico das bandas D e G, características do DLC, e a partir da sua razão foi possível estimar uma fração de hibridações sp³ na amostra de 70 %. Identificamos ainda a ocorrência do processo de grafitização nas regiões onde houve a irradiação laser. Finalmente, foi possível também observar a formação de pequenas estruturas assimétricas, com diâmetro médio de 1,5 μm e espaçamento de 3 μm, geradas por uma fluência de 0,13 J/cm². Por meio da espectroscopia de raio X por dispersão (EDS), concluímos que tais estruturas são geradas pelo processo de fusão do substrato facilitada pela interação da luz com o filme de DLC.

In this work we investigate the structuring process in Diamond-like Carbon (DLC) films through the use of femtosecond laser pulses (100 fs, 800 nm, 1 KHz and 5 MHz). We determined the threshold fluence for structuring DLC to be in the order of 1 J/cm² for a single pulse and approximately 0.1 J/cm² when the sample is subjected to a large number of pulses (> 10⁴ pulses). Raman spectroscopy determined the peak intensities of the D and G bands, characteristic of the DLC, and from its ratio it was possible to estimate a fraction of sp³ hybridizations in the sample of 70%. We also identified the occurrence of the graphitization process in the regions where there was laser irradiation. Finally, it was also possible to observe the formation of small asymmetric structures, with an average diameter of 1.5 μm and spacing of 3 μm, generated by a fluency of 0.13 J / cm². Through X-ray scattering spectroscopy (EDS), we conclude that such structures are generated by the substrate fusion process facilitated by the interaction of light with the DLC film.