O caráter aleatório e não homogêneo do crescimento de filmes de diamante, por processo de deposição, leva à formação de uma superfície rugosa que obedece, em geral, a uma geometria fractal. A dinâmica de crescimento da superfície do filme pode ser descrita por meio de modelos de crescimento discretos, simulações numéricas e equações diferenciais estocásticas. Os modelos e as equações nos fornecem os expoentes críticos, que descrevem o comportamento da rugosidade com a escala de observação e tempo de deposição. Crescemos filmes de diamante por deposição química a vapor e determinamos experimentalmente os expoentes críticos por meio de Microscopia de Força Atômica. Foram analisados filmes produzidos com diferentes concentrações de gás metano diluído em hidrogênio. Comparamos os nossos resultados experimentalmente com previsões dadas por alguns modelos teóricos. Verificamos que há um bom acordo entre eles e as previsões dadas pela equação estocástica de Kardar, Parisi e Zhang

The randomness and inhomogeneities in the growth of diamond films may lead to a rough surface obeying, in general, a fractal geometry. The growth dynamics of surface film may be described by a theoretical discrete models, numerical simulations and stochastic differential equations. Models and equations give critical exponents that describe the behaviour of roughness with the observation scale and deposition time. We have synthesized diamond films by chemical vapor depositions and measured tha critical exponents by Athomic Force Microscopy. Films with diferent methane gas concentrations diluted in hydrogen have been analyzed. Our experimental results are compared with some theoretical models predictions. We verified that there is a good agreement between them and the theoretical predictions given by the Kardar, Parisi and Zhang stochastic equation.