Na presente pesquisa, foram projetadas e fabricadas matrizes de microeletrodos através das técnicas da microeletrônica e MEMS. Sobre o silício microusinado, com formato de microagulhas (espessura de 100 m), há 3 pares de eletrodos, sendo um eletrodo de referência (Ag) e um eletrodo de trabalho (Au), que podem ser utilizadas para estudos in vivo. Os eletrodos de ouro foram testados, através da voltametria cíclica, em solução de ferricianeto de potássio e apresentaram: (i) ocorrência do processo faradico nas características E1/2 ~ 0,25 V da redução de ferricianeto; (ii) baixa histerese; e (iii) estabilização da corrente limite. Os microelétrodos, também apresentaram boa resposta em solução de ácido sulfúrico, exibindo os picos de característica de oxidação (Ep = 1,5 V) e redução (Ep = 0,9 V) das superfícies de ouro. Foi realizado o processo amperométrico aplicando um potencial E = -0.8V por 600 s, em seguida inicia-se 50 ciclos na voltametria cíclica variando a tensão com passo de 100 mV/s em solução [Ir(COO)2(OH)4]2- pH (10,5), para a deposição do filme de IrOx, que deixa o microelétrodo de Au sensível ao pH. Utilizando solução 0,1 mol/L de PBS (pH 7.0) e variação v = 100 mV/s, antes e depois da deposição do filme de IrOx, foi possível verificar que os dispositivos são sensíveis a variação de pH. Foram realizadas medições de OCP em 0,1 mol/L de PBS com diferentes valores de pH, com base nos valores de tensão foi possível traçar uma reta que pode ter inclinações variando de -59 a -90 mV por unidade de pH a temperatura ambiente.

In the present study, microelectrode arrays were designed and manufactured using microelectronics and MEMS techniques. On the micromachined silicon, with microneedle format (thickness of 100 m), there are 3 pairs of electrodes, being a reference electrode (Ag) and a working electrode (Au), which can be used for in vivo studies. The gold electrodes were tested, through cyclic voltammetry, in potassium ferricyanide solution and showed: (i) occurrence of the faradic process in the characteristics E1/2 ~ 0.25 V of the ferricyanide reduction; (ii) low hysteresis; and (iii) stabilization of the limit current. The microelectrodes also showed good response in sulfuric acid solution, showing the characteristic oxidation (Ep = 1.5 V) and reduction (Ep = 0.9 V) peaks of the gold surfaces. The amperometric process was carried out by applying a potential E = -0.8V for 600 s, then 50 cycles of cyclic voltammetry were started, varying the voltage with a step of 100 mV/s in solution [Ir(COO)2(OH)4] 2- pH (10.5), for the deposition of the IrOx film, complaining about the pH-sensitive Au microelectrode. Using 0.1 mol/L PBS solution (pH 7.0) and variation v = 100 mV/s, before and after deposition of the IrOx film, it was possible to verify that the devices are sensitive to pH variation. OCP measurements were performed in 0.1 mol/L of PBS with different pH values, based on the voltage values it was possible to draw a straight line that can have slopes ranging from -59 to -90 mV per pH unit at room temperature.