Neste trabalho, faz-se a modelagem de uma microgarra eletrostática com vistas a controle de força, quando está segura uma micropartícula. As técnicas usadas para obter o modelo matemático da microgarra são as técnicas de Identificação de Sistemas. Ensaios experimentais são feitos com diferentes micropartículas sendo seguradas. Famílias de modelos do tipo ARMAX (autoregressive moving average with exogenous input), OE (Output Error) e BJ (Box-Jenkins) são levantadas em diferentes ensaios com a microgarra segurando diferentes micropartículas. Com os modelos em mãos, projetam-se controladores de força em malha fechada para as microgarras. As técnicas utilizadas para projeto dos controladores são as técnicas clássicas e robusto H sensibilidade mista. Os controla dores são simulados e comparados para verificar sua eficácia. A robustez de estabilidade é avaliada para todos os controladores.

In this work, we model an eletrostatic microgripper in order to design a closed-loop force control system when the microgripper holds a microobject. In order to obtain the model, diferent experiments are performed with the microgripper holding different micro objects. System Identification techniques are used in order to determine mathematical models (transfer functions). Three different families of models are determined: ARMAX (autoregressive moving averange with exogenous input), OE (Output Error) e BJ (Box Jenkins). Closed-loop force controllers are designed for OE and BJ families of models using classical and robust H techniques. Those controllers are compared in order to determine the best one. Stability robustness is also compared for all the controllers.