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Dissertação de Mestrado
DOI
10.11606/D.43.1999.tde-19062015-165612
Documento
Autor
Nome completo
Marcilei Aparecida Guazzelli da Silveira
E-mail
Unidade da USP
Área do Conhecimento
Data de Defesa
Imprenta
São Paulo, 1999
Orientador
Banca examinadora
Salvadori, Maria Cecilia Barbosa da Silveira (Presidente)
Faria, Roberto Mendonça
Quivy, Alain Andre
Título em português
Medidas de expoentes críticos de filmes de diamante por meio de microscopia de força atômica
Palavras-chave em português
Expoentes críticos
Filmes de diamante
KPZ
Leis de escala
Microscopia de força atômica
Resumo em português
Neste trabalho investigamos a dinâmica de crescimento de filmes de diamante sintetizados por meio de deposição química a vapor ativada por plasma de microondas (CVD). A caracterização foi feita utilizando, fundamentalmente, microscopia de força atômica (AFM). Analisamos o comportamento da rugosidade dos filmes como função da escala de observação e do tempo de deposição. Dessa maneira verificamos a existência de leis de potência para o crescimento e determinamos os expoentes críticos associados a essas leis. Os resultados obtidos estão em bom acordo com o processo de crescimento descrito pela equação estocástica KPZ. Os mecanismos principais são a deposição aleatória de partículas na superfície, o crescimento lateral e a dessorção.
Título em inglês
Measures of critical exponents of diamond films using atomic force microscopy
Palavras-chave em inglês
Atomic force microscopy
Critical exponents
Diamond films
KPZ
Scale laws
Resumo em inglês
Diamond films have been grown by Microwave Plasma assisted Chemical Vapor Deposition (CVD). The characterization has been made mainly by Atomic Force Microscopy (AFM). We could analyze the roughness behavior with the scale of observation and with the deposition time. We could determine the critical exponents associated with these laws. The results suggest that the growth process is in good agreement with the stochastic growth equation known as KPZ. The most important mechanisms are the random deposition, the lateral growth and the desorption.
 
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Silveira_1999.pdf (6.97 Mbytes)
Data de Publicação
2015-06-22
 
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