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Dissertação de Mestrado
DOI
10.11606/D.3.2002.tde-12072002-131428
Documento
Autor
Nome completo
Marcelo Silva Guimarães
E-mail
Unidade da USP
Área do Conhecimento
Data de Defesa
Imprenta
São Paulo, 2002
Orientador
Banca examinadora
Sinatora, Amilton (Presidente)
Carreno, Marcelo Nelson Paez
Ferreira, Luiz Otávio Saraiva
Título em português
Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.
Palavras-chave em português
filmes finos
flambagem
MEMS
microscopia nomarski
microssistemas
propriedades mecânicas propriedades térmicas
Resumo em português
Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem.
Título em inglês
Proposition of thin films thermomechanical characterization using MEMS devices.
Palavras-chave em inglês
buckling
mechanical properties
microelectromechanical systems
nomarski microscopy
thermophysical properties
thin films
Resumo em inglês
An important factor to develop microsystems is knowledge of materials properties and failure mechanisms. This research studies the thermal actuated microbeam mechanical behavior and propose a method in order to characterize thermomechanical properties of thin films. Silicon Oxynitride microbeams are fabricated and Nomarski microscopy was applied to observe strain and buckling phenomenon ocurrence.
 
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Data de Publicação
2002-12-10
 
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