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Mémoire de Maîtrise
DOI
10.11606/D.3.2002.tde-12072002-131428
Document
Auteur
Nom complet
Marcelo Silva Guimarães
Adresse Mail
Unité de l'USP
Domain de Connaissance
Date de Soutenance
Editeur
São Paulo, 2002
Directeur
Jury
Sinatora, Amilton (Président)
Carreno, Marcelo Nelson Paez
Ferreira, Luiz Otávio Saraiva
Titre en portugais
Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.
Mots-clés en portugais
filmes finos
flambagem
MEMS
microscopia nomarski
microssistemas
propriedades mecânicas propriedades térmicas
Resumé en portugais
Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem.
Titre en anglais
Proposition of thin films thermomechanical characterization using MEMS devices.
Mots-clés en anglais
buckling
mechanical properties
microelectromechanical systems
nomarski microscopy
thermophysical properties
thin films
Resumé en anglais
An important factor to develop microsystems is knowledge of materials properties and failure mechanisms. This research studies the thermal actuated microbeam mechanical behavior and propose a method in order to characterize thermomechanical properties of thin films. Silicon Oxynitride microbeams are fabricated and Nomarski microscopy was applied to observe strain and buckling phenomenon ocurrence.
 
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Date de Publication
2002-12-10
 
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