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Disertación de Maestría
DOI
10.11606/D.3.2002.tde-12072002-131428
Documento
Autor
Nombre completo
Marcelo Silva Guimarães
Dirección Electrónica
Instituto/Escuela/Facultad
Área de Conocimiento
Fecha de Defensa
Publicación
São Paulo, 2002
Director
Tribunal
Sinatora, Amilton (Presidente)
Carreno, Marcelo Nelson Paez
Ferreira, Luiz Otávio Saraiva
Título en portugués
Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.
Palabras clave en portugués
filmes finos
flambagem
MEMS
microscopia nomarski
microssistemas
propriedades mecânicas propriedades térmicas
Resumen en portugués
Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem.
Título en inglés
Proposition of thin films thermomechanical characterization using MEMS devices.
Palabras clave en inglés
buckling
mechanical properties
microelectromechanical systems
nomarski microscopy
thermophysical properties
thin films
Resumen en inglés
An important factor to develop microsystems is knowledge of materials properties and failure mechanisms. This research studies the thermal actuated microbeam mechanical behavior and propose a method in order to characterize thermomechanical properties of thin films. Silicon Oxynitride microbeams are fabricated and Nomarski microscopy was applied to observe strain and buckling phenomenon ocurrence.
 
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Fecha de Publicación
2002-12-10
 
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